白光干涉儀能夠在同一測試平臺上運(yùn)行多種測試，產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術(shù)應(yīng)用要求而改變。針對樣品的同一區(qū)域可進(jìn)行不同模式的實驗檢測，模式切換可實現(xiàn)全自動化。多項技術(shù)的整合能夠使不同技術(shù)在同一檢測儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢。該項整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析，也可以減少維護(hù)成本，從而提高效率。

 

　　白光干涉儀的測量應(yīng)用：

　　以測量單刻線臺階為倒，在檢查儀器的各線路接頭都準(zhǔn)確插到對應(yīng)插孔后，開啟儀器電源開關(guān)，啟動計算機(jī)，將單刻線臺階工件放置在載物臺中間位置，先手動調(diào)整載物臺大概位置，對準(zhǔn)白光干涉儀目鏡的下方。

　　在計算機(jī)上打開白光干涉儀測量軟件，在軟件界面上設(shè)置好目鏡下行的最小點(diǎn)，再微調(diào)鏡頭與被測單刻線臺階表面的距離，調(diào)整到計算機(jī)屏幕上可以看到兩到三條干涉條紋為佳，此時設(shè)置好要掃描的距離。按開始按鈕，白光干涉儀可自動進(jìn)行掃描測量，測量完成后，轉(zhuǎn)件自動生成3D圖像，測量人員可以對3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)分析，獲得被測器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、3D參數(shù)。

　　白光干涉儀具有測量精度高、操作便捷、功能全面、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。白光干涉儀*的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

 

　　白光干涉儀由以下及部分構(gòu)成：

　　光學(xué)照明系統(tǒng) ，采用鹵素光源，其中心波長為576納米，光譜范圍從340納米到780納米。光學(xué)成像系統(tǒng) 采用無限遠(yuǎn)光學(xué)成像系統(tǒng)，由顯微物鏡和成像目鏡組成。垂直掃描控制系統(tǒng) 由壓電陶瓷以及控制驅(qū)動器構(gòu)成，采用閉環(huán)反饋控制方法，可精密驅(qū)動顯微物鏡上下移動，移動范圍100mm。位置移動精度為0.1納米。信號處理系統(tǒng) 信號處理系統(tǒng)是該儀器的核心部分，由計算機(jī)和數(shù)字信號協(xié)處理器構(gòu)成。利用計算機(jī)采集一系列原始圖像數(shù)據(jù)。然后使用專用的數(shù)字信號協(xié)處理器完成數(shù)據(jù)解析作業(yè)。應(yīng)用軟件 應(yīng)用軟件主要由操作控制部分，結(jié)果顯示部分以及后處理部分組成。主要用于操作控制表面形狀測量儀器。同時，以三維立體，二維平面以及斷面分布曲線方式顯示實時測量結(jié)果。并可對測量結(jié)果作進(jìn)一步的修正處理。